日本洁净室标准 JIS B 9920洁净度等级表
无尘室的应用，大致可分为二类，即工业用无尘室〈Industrial Clean Room〉简称ICR ，和生化及医药用无尘室〈Biological Clean Room〉简称 BCR。
在工业用无尘室其清净度规格方面，有美国联邦标准规格 FS209E〈U.S Federal Standard 209E〉及日本国家标准 JIS B 9920 等多种参考规范。
在生化、医药用无菌室其要求规格有美国航空太空总署〈NASA〉规范〈NHB 5340.2〉最为普遍。无尘室的设计通常依照使用需求情况加以检讨再决定采用何种规范作为基准。
JIS B 9920标准无尘等级的浓度上限 (pcs/m3)
粒径
无尘等级
(μm)
class 1
class 2
class 3
class 4
class 5
class 6
class 7
class 8
0.1
101
102
103
104
105
(106)
(107)
(108)
0.2
2
24
236
2360
23600
????
????
????
0.3
1
10
101
1010
10100
101000
1010000
10100000
0.5
(35)
(0.3)
35
350
3500
55000
350000
3500000
5
????
????
????
????
29
290
2900
29000
无尘等级
0.1～0.3
0.1～0.5
0.1～5.0
0.3～5.0
粒径范围
附注
1
第3A5,6,7和8级相当于美国联邦标准209D(和控制环境的工作站)相对的第1,100,1000,10000和100000。
2
浓度的上限代表等于或大于指定颗粒大小的洒度。
3
浓度的上限是指颗粒大小为0.1μm和0.5μm的量。
4
在括弧中的数字是指颗粒大小不同民指定大小的量,它们只供评估无尘等级和只当参考用而已。